真空プローバー用XYZステージ

真空プローバー用XYZステージ

寸法

☆高さ　：　約116mm（ハンドル位置による）
☆幅　　：　約121mm（ハンドル位置による）
☆奥行き：　約167mm（ハンドル位置による）

ステージ移動量

☆Ｘ軸 ：　±25.0㎜（チャンバー中心方向）
☆Ｙ軸 ：　±15.0㎜（水平方向）
☆Ｚ軸 ：　±12.5㎜（垂直方向）

詳細につきましてはお問合せ下さい。